CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

所屬分類：等離子清洗機

表面改性

等離子清洗機紫外臭氧清洗機

表面去膠

等離子去膠機

表面刻蝕

等離子刻蝕機

表面涂層

旋涂機烤膠機濺射鍍膜機閃蒸成膜儀

產(chǎn)品參數(shù)

CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設(shè)備，改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣品處理面積，使用成本低，性價比高，處理快速高效，特別適合于大學，科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點

u7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。

uPLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

u采用質(zhì)量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u采用多孔道進氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

uHEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

u316不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

u全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)。

u處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

u合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，設(shè)備占用空間小。

u可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

u樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

u使用成本低、耗損小。

u產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝維護，簡單方便。

u安全保護，艙門打開，自動關(guān)閉電源。

u機器運行、停止提示。